【摘 要】
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基于严格耦合波理论,提出了一种在可见光波段能调控入射光相位的非周期悬空氮化镓（GaN）薄膜光栅。首先,采用有限差分时域（FDTD）方法,通过改变光栅的周期、占空比等参数仿真计算非
【机 构】
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南京邮电大学PeterGrunberg研究中心
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(No.61322112,No.61531166004);国家重点研究发展计划资助项目(No.2016YFE0118400);南京邮电大学科研基金资助项目(No.KYZZ16-0256)
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基于严格耦合波理论,提出了一种在可见光波段能调控入射光相位的非周期悬空氮化镓（GaN）薄膜光栅。首先,采用有限差分时域（FDTD）方法,通过改变光栅的周期、占空比等参数仿真计算非周期悬空GaN薄膜光栅的光响应。然后,采用双面加工工艺和氮化物背后减薄技术在硅基GaN晶圆上制备非周期悬空GaN薄膜光栅,控制入射光束的相移。最后,通过角分辨微反射谱实验和光致发光测量实验表征了该薄膜光栅的光学性能。角分辨微反射谱实验结果显示非周期悬空GaN薄膜光栅的光学性能与FDTD的理论分析一致;光致发光测量实验显示其光致发光
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