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该文通过数值求解电磁场波动方程和流体方程计算了氩低气压射频感应放电的放电参数,并在计算等离子体电导率时考虑了电子碰撞的动力学影响.计算结果与其他模型的结论相符合.
低气压射频感应放电的参数计算
【摘 要】
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该文通过数值求解电磁场波动方程和流体方程计算了氩低气压射频感应放电的放电参数,并在计算等离子体电导率时考虑了电子碰撞的动力学影响.计算结果与其他模型的结论相符合.
【机 构】
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复旦大学电光源研究所200433
【出 处】
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光源与照明
【发表日期】
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2003年3期
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