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介绍安捷伦公司的激光干涉仪定位系统的总体结构、功能及特点。给出各种组件的工作、原理及技术参数，包括干涉仪的激光轴板、激光补偿板、远程接收机及激光系统。
用于VEMbus系统的高性能激光干涉仪定位系统
【摘 要】
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介绍安捷伦公司的激光干涉仪定位系统的总体结构、功能及特点。给出各种组件的工作、原理及技术参数，包括干涉仪的激光轴板、激光补偿板、远程接收机及激光系统。
【机 构】
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陇东学院
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2005年1期
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