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MEMS(微电子机械系统)湿度传感器是利用标准的CMOS技术加上MEMS的后处理技术制造,以其体积小、响应快等优点受到越来越多的重视,介绍了本实验室研制的MEMS压阻式湿度传感器的测试原理、硬件电路的设计和传输函数模型的建立,以及软件设计和封装设计,最后给出了样机的测试结果。
MEMS湿度传感器信号采集与数字化处理研究
【摘 要】
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MEMS(微电子机械系统)湿度传感器是利用标准的CMOS技术加上MEMS的后处理技术制造,以其体积小、响应快等优点受到越来越多的重视,介绍了本实验室研制的MEMS压阻式湿度传感器的
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室
【出 处】
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电子工程师
【发表日期】
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2008年11期
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