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采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备掺杂铝的氧化锌薄膜。研究了不同的铝掺杂浓度、薄膜厚度以及退火温度对电阻率的影响，结果表明掺杂铝摩尔分数为2％、退火温度在550％时电阻率最低，电阻率随着薄膜厚度的增加而减小。通过XRD和SEM对薄膜的组织结构和形貌进行了表征，结果表明样品表面相对平整、致密，AZO薄膜保持着ZnO六角纤锌矿结构，说明了Al原子对Zn原子的有效替位。