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对微细旋转超声加工碳化硅陶瓷过程中的轴向力展开研究，分析了主轴转速、进给率、超声振动能量对轴向力的影响。对轴向力信号的频域分析表明，其中包含了由刀具变形引起的低频力信号和由超声振动带来的高频力信号。在此基础上，分别研究了各工艺参数对低频力信号周期和高频力信号周期的影响和效应。此外，还分析了工具的磨损类型及轴向力对工具磨损的影响。