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<正> 通过根本改变晶体管材料,利用低于0.1μm的制造工艺生产出的LSI将突破以往在芯片动作的高速化和低耗电方面的极限。 美国University Of Texas at Austin将栅极绝缘薄膜材料由原来的二氧化硅(sio_2)变更为高
晶体管材料大变革，响应速度提高耗电降低
【摘 要】
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<正> 通过根本改变晶体管材料,利用低于0.1μm的制造工艺生产出的LSI将突破以往在芯片动作的高速化和低耗电方面的极限。 美国University Of Texas at Austin将栅极绝缘薄膜
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2001年1期
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