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利用C2H2/H2/SiH4混合单体等离子体聚合沉积在HDPE板表面制备薄膜,发现薄膜与HDPE粘接良好,H2使薄膜与基体附着性能提高但其沉积速率下降,而引入SiH4则使薄膜的耐磨性能有较大的提高。IR和XPS光谱表明:薄膜中含有较多的-OH,O-C,C-Si和Si-O基团,随着SiH4/H2的增加薄膜中的C/Si比可达1.222,说明产物的结构介于无机材料和有机物之间。