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把分子态的氢转变为等离子态的氢可以从热力学和动力学层面上提高氢还原金属氧化物的能力.中等气压下(102～104 Pa)非平衡态氢等离子体中存在的主要活泼粒子包括H、H+、H+2和H+3,其中原子氢的浓度最大,是比较稳定且具有重要化学反应活性的粒子.根据热力学计算,这些粒子的还原能力大小为:H+>H+2>H+3 >H.通过CuO在直流脉冲辉光氢等离子体中的还原实验证实了等离子态的氢能强化氢还原金属氧化物的能力.