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电子束缩小投影曝光系统的掩模研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xielongj_30

【摘 要】

：

介绍了用于电子束投影曝光系统中薄膜加散射体掩模的制备、性能和使用情况 The preparation, performance and usage of thin film plus scatterers mask for electron beam

【作 者】

：

吴桂君 彭开武 张福安 顾文琪 陈大鹏 杨清华 刘明 叶甜春 

【机 构】

：

中科院电工所,中科院电工所,中科院电工所,中科院电工所,中科院微电子中心,中科院微电子中心,中科院微电子中心,中科院微电子中心 北京100080,北京100080,北京100080,北京100080,

【出 处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2002年03期

【关键词】

：

掩模 电子束投影曝光 透射率 反差 

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介绍了用于电子束投影曝光系统中薄膜加散射体掩模的制备、性能和使用情况 The preparation, performance and usage of thin film plus scatterers mask for electron beam projection exposure system are introduced

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