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用发光光谱法研究了355nm脉冲激光在真空和O2气氛中烧蚀La2O3产生的等离子体的组成和形成过程。对等离子体中La^+离子和LaO的空间和时间分辨发光光谱分析表明,在O2气氛中LaO有两个生成通道:一是在靶附近的等离子体内直接生成,另一是由La,La^+与O2发生氧化反应而生成的。测定了激光能量密度,离靶表面的距离和O2压力对产生发光的延迟时间和发光强度的影响。此外,还讨论了激光烧蚀La2O3诱