【摘 要】
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高纯金属有机化合物(MO)可作为六类高新材料的原材料。MOCVD(金属有机化学汽相淀积)和CBE(化学分子束外延)工艺所需的MO源(Source)和掺杂剂是其主要用途之一。
High purity
【机 构】
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化工部光明化工研究所,化工部光明化工研究所,
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高纯金属有机化合物(MO)可作为六类高新材料的原材料。MOCVD(金属有机化学汽相淀积)和CBE(化学分子束外延)工艺所需的MO源(Source)和掺杂剂是其主要用途之一。
High purity metal organic compounds (MO) can be used as raw materials for six types of high-tech materials. MOCVD (metal organic chemical vapor deposition) and CBE (chemical molecular beam epitaxy) process required MO source (Source) and dopants is one of its main purposes.
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