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(2014-127-英国-63)该系统显著优于石英晶体微天平(QCM)的特性,具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而,其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器(FBAR)装置,该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量,而不增加其尺寸或复杂性,克服对温度的依赖。通过使用一种新颖的多层器件结构和电