【摘 要】
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利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以甲烷为气源,在单晶硅（P（001））衬底上制备类金刚石碳基薄膜（DLC）;利用高速往复摩擦磨损试验机分别测试DLC薄膜/Al2O3球摩擦副在大气环境下
【机 构】
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兰州理工大学石油化工学院,中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
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利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以甲烷为气源,在单晶硅（P（001））衬底上制备类金刚石碳基薄膜（DLC）;利用高速往复摩擦磨损试验机分别测试DLC薄膜/Al2O3球摩擦副在大气环境下和1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液润滑下的摩擦磨损性能;利用光学显微镜,X射线光电子能谱和三维轮廓仪分别对磨痕、磨痕表面元素和磨损率进行考察。实验结果表明：DLC薄膜在离子液润滑时,在低载荷下减摩作用明显,但在较高载荷下摩擦因数较无离子液润滑时高,且不随载荷增加而变化,推测是离子液形成了边界润滑膜;XPS分析表明
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