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新世纪直线运动部件的发展趋势为复合化、轻量化与模块化,精密直线运动模块的出现,正是这股变化趋势的代表.精密直线运动模块多用于自动化与精密测量中,如XYZ多轴平台、自动装配与运送系统、半导体制造设备及光电产品等.
精密直线运动模块
【摘 要】
：
新世纪直线运动部件的发展趋势为复合化、轻量化与模块化,精密直线运动模块的出现,正是这股变化趋势的代表.精密直线运动模块多用于自动化与精密测量中,如XYZ多轴平台、自动
【出 处】
：
制造技术与机床
【发表日期】
：
2004年2期
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