【摘 要】
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本文就不同条件下,利用硅烷分解的辉光放电技术,制备了非品态Si-H二元合金.掺入的氢原子与非晶态硅中的悬挂键构成单氢键硅SiH_1、双氢键硅SiH_2、三氢键硅SiH_3.
In this
【机 构】
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南开大学物理系,南开大学物理系,南开大学物理系,
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本文就不同条件下,利用硅烷分解的辉光放电技术,制备了非品态Si-H二元合金.掺入的氢原子与非晶态硅中的悬挂键构成单氢键硅SiH_1、双氢键硅SiH_2、三氢键硅SiH_3.
In this paper, the non-state Si-H binary alloys were prepared by silane decomposition glow discharge technique under different conditions.The dangling bonds between the hydrogen atoms and the amorphous silicon form a single hydrogen bond SiH_1, Key silicon SiH_2, SiH_3 SiH_3.
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