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期刊论文
电子回旋共振等离子体源的数值模拟
电子回旋共振等离子体源的数值模拟
来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:anysion888
【摘 要】
:
采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(
【作 者】
:
刘明海
胡希伟
邬钦崇
俞国扬
【机 构】
:
中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031中国科学技术大学近代物理系,合肥,230026;中国科学技术大学近代物理系,合肥,230026;中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031;
【出 处】
:
物理学报
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
电子回旋共振
等离子体源
数值模拟
PLASMA SOURCE
微波功率
等离子体密度
振荡行为
运行条件
线性现象
物理参量
混合模型
功率吸收
电子温度
电
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采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象.
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