【摘 要】
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MOS 材料需要一定的温度才能与气体发生反应,导致传感器功耗过高,制约了传感器的进一步发展。与传统的气体传感器相比,基于MEMS 技术的MOS 气体传感器在一致性和小型化方面具
【机 构】
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中煤科工集团常州研究院有限公司,天地（常州）自动化股份有限公司
【基金项目】
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天地科技重点研发项目2019-TD-ZD007
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MOS 材料需要一定的温度才能与气体发生反应,导致传感器功耗过高,制约了传感器的进一步发展。与传统的气体传感器相比,基于MEMS 技术的MOS 气体传感器在一致性和小型化方面具有许多优势。如更容易实现集成化和低功耗,且与现有的硅基加工技术相兼容,成为未来气体传感器的发展方向。在这种传感器中,利用MEMS 工艺制作的微加热板(MHP),可为MOS 气敏薄膜提供热量,其热性能影响传感器的整体性能,因此有必要对MHP 进行深入分析,优化传感器结构。
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