基于激光三角法的CCD平板厚度测量系统设计

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本文基于光学原理,充分利用斜射法可接受全部反射光和散射光的特点,针对光滑微小厚度变化量的平薄板提出了一种具有精度高、线性度好、动态响应快的在线激光非接触测厚方法,并通过系统软硬件的设计,自动完成了对平薄板厚度高准确度测量。
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