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分析了MEMs数据存储器机构中柔性弹簧的线性大位移驱动特性，提出了一种等效数值模型，并利用该模型等效替换数据存储器驱动机构的关键部位，保留了MEMS数据存储器驱动机构的实际工作特性，并在此基础上将驱动机构转换成质量块和弹簧结构两种单元形式，解决了驱动机构中相对小尺寸有限元建模的问题，大大减少了单元数量．通过设计实验系统进行对比验证，驱动仿真分析结果与实验结果具有良好的吻合性，验证了该等效过程及模型的正确性．为MEMS数据存储器驱动机构的开发提供了理论设计和实验参考．