【摘 要】
：
1．多层膜反射镜是投影光刻得以实现的前提．必须解决多层膜的高反射率、带宽匹配、应力，曲面基板上膜厚随入射角变化而变化等关键问题．目前，Mo／Be和Mo／Si多层膜在11～14mm波段得到了接
论文部分内容阅读
1．多层膜反射镜是投影光刻得以实现的前提．必须解决多层膜的高反射率、带宽匹配、应力，曲面基板上膜厚随入射角变化而变化等关键问题．目前，Mo／Be和Mo／Si多层膜在11～14mm波段得到了接近70％的反射率。2．光学元件超精密加工与检测是投影光刻得以实现的另一大基础。软X射
1. Multi-layer mirrors are the premise of projection lithography. Multi-layer film must be addressed high reflectivity, bandwidth matching, stress, surface thickness of the substrate with the angle of incidence changes and other key issues. At present, Mo / Be and Mo / Si multilayers achieve near 70% reflectance in the 11-14 mm band. 2. Ultra-precision optical components processing and testing is another important projection lithography can be achieved. Soft X-ray
其他文献
抓紧解决贯彻《劳动法》中存在的矛盾和问题李援朝，任永学《劳动法》贯彻实施以来，出现了一些矛盾和问题，其中，有的与整个社会经济环境有关，有的与企业领导者的素质有关。主要有以
一起追索劳动报酬案北票市人民法院姜家窝铺法庭审结一起乡农电管理站与被告谢某之间的追索劳动报酬案。被告谢某自１９９２年１月被乡农电管理站雇用为电费收款员，负责收缴３５０户村民电费工
本专辑介绍了当前小卫星技术的发展动向,即满足多种飞行任务要求的模块化设计技术,星载电子仪器和飞行任务接口的标准化技术,取消冗余设计,减小或限制故障保护,降低风险级等
以法治县这一现实任务的提出，是广东省总结我国、改省改茧开放15年的实践经验，继续探索建设有中国特色的社会主义道路的历史性抉择。首先，以法治县，作为建立在一定经济基础上的上
盗伐自己承包的树木也要负法律责任日前，北票市法院以被告人田洪星、田宝玉，田洪玉３人犯有盗伐林木罪，各被判处有期徒刑２年，并各被处罚金１０００元。１９９４年８月１６日，田宝玉到村委会申请伐放自家承包
“亚太１Ａ”卫星发射成功１９９６年７月３日，北京时Ｉｋｉ１８时４７分，中国西昌卫星发射中心用“长征三号”运载火箭成功地将“亚太ＩＡ”通信卫星送入太空。这颗卫星为香港亚太通信卫星有限公司经营，由美国休斯
被停工停薪的我应怎么办？编辑同志：我叫张丽平，是陕西省Ｘ县百货公司的一名全民合同工。现有一事，请百忙中帮助解答。今年６月２９日，临下班时，公司王经理找我谈话，说要调整我的工作岗位。因
沐川县技术监督局原局长拒绝执行审计决定受到处分沐川县技术监督局原局长肖××，无视审计法规，拒绝全部执行沐川县审计局作出的审计处理决定，长达半年之久，受到党纪和政纪处分，已
全向信标VRB—51D是“八五”计划期间,民航总局利用第三期日元贷款,从澳大利亚AWA公司引进的。由于全国共有60多套该型号设备,对设备的维护各有各的办法,缺乏统一的模式。我
用《劳动法》规范劳动行为张振方《劳动法》在社会主义市场经济法律体系中处于十分重要的地位，它以保护劳动者合法权益为基本宗旨。蛇口工业区的各类企业和直属企业单位，蛇口工