Effects of Power Density and Post Annealing Process on the Microstructure and Wettability of TiO2 Fi

来源 :材料科学技术学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：easy515

【摘要】

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“ TiO2 电影的准备 parameters-microstructures-wettability ”的关系是 reported.In 这个工作， TiO2 电影被使用中间频率的双磁控管劈啪作响扔到玻璃和硅底层上在有各种各

【作者】

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Ying CUI Hao DU Jinquan XIAO L

【机构】

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DivisionofSurfaceEngineeringofMaterials,GraduateSchoolofChineseAcademyofSciences

【出处】

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材料科学技术学报：英文版

【发表日期】

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2008年2期

【关键词】

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二氧化钛磁控管溅射相位复合微结构亲水性 Titanium dioxide Reactive magnetron sputtering Phase c

【基金项目】

：

AcknowledgementsWe are grateful to Dr. Y.C.Zhou for providing software support, and all colleagues for insightful discussion, particularly, Dr. C.Sun, Mr. J.B.Li, and Mr. D.M.Tang.

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“ TiO2 电影的准备 parameters-microstructures-wettability ”的关系是 reported.In 这个工作， TiO2 电影被使用中间频率的双磁控管劈啪作响扔到玻璃和硅底层上在有各种各样的力量密度和免职 time.After 免职的周围的温度的技术，电影是在不同退火的temperatures.X光线衍射( XRD )对待的热，拉曼光谱学，并且扫描电子显微镜学( FE-SEM )的地排放被利用描绘这些电影的 TiO2 films.The 可湿性走水路被评估 TiO

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