移相干涉仪的改进方法与实现

来源 :物理实验 | 被引量 : 13次 | 上传用户：mydxh

【摘要】

：

通过安装视频采集软件,从监视窗口记录相移过程.再从捕获视频中选出一组相移干涉图,经过相位计算,可得到波面分布.介绍了数据处理流程,编写了相关程序.将本方法与Zygo干涉仪MetroPro的计算结果进行了比较,φ_p和φ_(RMS)偏差分别为0.005λ和小于0.001λ.Zernike多项式拟合结果也验证了该方法的准确性和有效性.

【作者】

：

王婷赵云孙文卿王军吴泉英

【机构】

：

苏州科技大学数理学院江苏省微纳热流技术与能源应用重点实验室

【出处】

：

物理实验

【发表日期】

：

2017年10期

【关键词】

：

移相干涉视频采集 Zernike多项式拟合 Video capture softwarephase shifting measurementmonitor w

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