【摘 要】
：
高精度检测技术是促进光学加工技术发展的必备条件.ZYGO干涉仪检测光学表面面形代表着国际先进水平,常规检测精度取决于仪器配备的标准镜头(通常标准镜头精度为λ/10,最高精
论文部分内容阅读
高精度检测技术是促进光学加工技术发展的必备条件.ZYGO干涉仪检测光学表面面形代表着国际先进水平,常规检测精度取决于仪器配备的标准镜头(通常标准镜头精度为λ/10,最高精度可达λ/20),λ/20测量精度不能满足更高精度面形检测的需求.本文探讨了表面绝对检测技术及误差控制,通过用ZYGO干涉仪及两种精度等级的参考镜头对f/1.07的球面镜进行常规GPI干涉和双球面实时绝对检测比对,证明了表面绝对检测的有效性.实验及分析表明:在超净实验室、高精度防振平台、高精密可旋转5维调整架及精密导轨的测量条件下,采用表面绝对测量技术,严格控制基准定位和共焦位置旋转角度定位,多次重复测量,λ/10标准镜头同样能够达到λ/30 PV的高精度检测目的.
其他文献
理论采用一维瞬态理论模型,包含抽运耗空的影响.实验采用两级布里渊结构压缩8ns的Nd:YAG激光,研究了基频光和倍频光的SBS压缩过程.实验中采用CCl4作为SBS介质,经第一级双池SB
薄膜-基体界面结合性能是直接关系到膜基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标.在分析界面结合强度划痕试验法和激光层裂法的研究与应用现状的基础上,提出了界面结
目的：研究全程优质护理在白血病患儿中的应用价值。方法：选取92例白血病患儿随机分成实验组和对照组，每组46例患儿，对照组采用常规的护理，实验组在常规护理的基础上，实施全程优质护
采用气相输运平衡技术,对同成分掺镁铌酸锂晶体薄片进行了近化学计量比处理.对处理后晶体的吸收特性、极化电场、抗光折变性能等进行了系统研究.实验结果表明,与同成分样品相
采用熔体提拉法生长大尺寸Nd:YLF晶体.通过大量实验,建立了合理的温场和生长工艺.在晶体生长的全过程中.有效地防止了水和氧的污染.生长出直径φ25 mm～φ30 mm,等径长度为100m
提出了采用有机小分子原位接枝到炭黑表面的新设想,可实现炭黑的良好分散和结构可控.采用机械共混的方法同时实现了炭黑微结构的破坏与炭黑表面有机小分子的接枝反应;利用该
采用溶胶-凝胶技术,以钛酸丁酯Ti(OC4H9)4、V2O5粉末为原材料制备了纳米结构的TiO2-V2O5复合薄膜.使用XRD、AFM、UV-VIS-NIR分光光度计等方法研究了V2O5对TiO2纳米复合薄膜性
本文综述了国内外脉冲工艺在电弧离子镀和磁控溅射中的应用.脉冲工艺为电弧离子镀净化大颗粒、增强膜基结合力、改善组织形貌、降低沉积温度等起到了重要作用.电弧或溅射离子
提出了雅可比-傅里叶矩,它是用雅可比多项式作为径向函数,用傅里叶因子作为角向函数构造而成的,是广义正交傅里叶-梅林矩.经过归一化处理后的雅克比-傅立叶矩具有平移、尺度
研究了基于微芯片电泳分离和电感耦合等离子体质谱的连接技术,并对不同形态的Cu和As进行了快速分离和检测.