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类金刚石膜（Diamond-like Carbon，DLC）的沉积过程直接影响着薄膜分子结构，从而决定着最终薄膜的物理化学特性。采用分子动力学模拟的方法，计算了以C原子为沉积物，在50eV和100eV入射能量下制备无氢DLC膜的动力学过程，详细考察了不同生长阶段表面生成膜的生长特性。通过比较，模拟结果观察到并揭示出在一定的入射能量冲击下，基体表面薄膜的一种新的点-链-网成长过程及薄膜形成机制。同时发现，随着入射能量的增加，基底的逃逸原子数亦相应增加，基底原子向表面薄膜的扩散和渗透距离变长，薄膜密度在入射能