【摘 要】
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随着平面显示技术的发展,氧化铟锡(ITO)靶材的需求大增,然而国内生产的靶材多为低密度的中低端产品,ITO靶材的制备目前多采用的是热压烧结的形式,实现ITO靶材的制备突破研制
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随着平面显示技术的发展,氧化铟锡(ITO)靶材的需求大增,然而国内生产的靶材多为低密度的中低端产品,ITO靶材的制备目前多采用的是热压烧结的形式,实现ITO靶材的制备突破研制合适的装备及工艺成为焦点问题。本文结合直热式制备ITO靶材工艺给出了ITO靶材热压炉中核心加热区的设计方法,并利用ANSYS软件对设计完成的石墨模具进行了仿真分析。
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