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运用有限积分法软件MAFIA和有限元软件ANSYS对两类高频腔的本征值问题进行数值模拟,将模拟结果与部分实验数据进行验证,得到了比较一致的结果,其平均计算精度在5%以内,证实了两种电磁软件都可用于高频腔本征值问题的数值模拟,在计算精度上为满足工程设计需要做了一些研究.另外将两种模拟软件在计算时间上作了对比.