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磁控溅射Co-Cr-Al(Y)纳米涂层在1000，1100和1200℃氧化一定时间后，用光激发荧光谱技术表征热生长的A12O3相，发现氧化层局部区域存在由非稳态相向稳态相的转变，即：γ→θ→α；其转变过程随温度升高显著加快，并在1200℃下变得不明显，在相同温度下，Y明显减缓A12O3相转变过程。