【摘 要】
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为了合理评定激光扫描共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope,LSCM)的测量性能,提出了一种用于检验LSCM计量特性的测试方法.首先,依据LSCM成像原理,对其技术特点,
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京,100013;河南理工大学 机械与动力工程学院,河南 焦作,454000;中国计量科学研究院,北京 100013;河南理工大学 机械与动力工程学院,河南 焦作 454000
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为了合理评定激光扫描共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope,LSCM)的测量性能,提出了一种用于检验LSCM计量特性的测试方法.首先,依据LSCM成像原理,对其技术特点,特别是轴向分辨率和横向分辨率等进行了理论分析;然后对其计量特性的参数指标进行了归纳,并提出相应的性能测试方法.具体包括采用线间隔为微纳米级的网格板等作为标准器,测试LSCM的放大倍数和光学横向分辨率;采用纳米级高度台阶样板测试LSCM的光学轴向分辨率和轴向定位特性;采用激光干涉仪测试样品台工作性能等.实验证明:该方法能够满足当前普遍应用的LSCM的性能测试需求.
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