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对微纳米科技的发展现状和发展前沿进行了综述，对微纳米科技中涉及几何量计量的技术进行了简要介绍，同时讲述了现有典型的微纳米几何量测量系统。重点介绍了测量范围大，分辨率高、横纵分辨比平衡的扫描电子显微技术，提出了场发射扫描电镜三维重构的问题，也为今后研究提供了分析基础。最后对电子显微三维重构技术的未来进行了展望。