,Influence of Positive Bias on Electrical Properties of Undoped Nanocrystalline Diamond Films

来源 :中国物理快报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：caoenjia

【摘要】

：

By means of electron assisted hot filament chemical vapour deposition technology, nanocrystalline diamond films are deposited on polished n-(100)Si wafer surfac

【作者】

：

WU Nan-Chun XIA Yi-Ben TAN Shou-Hong WANG Lin-Jun LIU Jian-Min SU Qing-Feng

【机构】

：

School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072“,”Shanghai Institu

【出处】

：

中国物理快报（英文版）

【发表日期】

：

2006年9期

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By means of electron assisted hot filament chemical vapour deposition technology, nanocrystalline diamond films are deposited on polished n-(100)Si wafer surface at 1 kPa gas pressure.

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