【摘 要】
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<正> 微波半导体器件的粘结密封法是近年来发展较快,效果较好的新型封装方法之一,是有发展前途的。 半导体器件的粘结密封法的突出优点是能简化复杂的管壳结构,缩小尺寸,减轻
【机 构】
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河北半导体所,河北半导体所,河北半导体所,河北半导体所
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<正> 微波半导体器件的粘结密封法是近年来发展较快,效果较好的新型封装方法之一,是有发展前途的。 半导体器件的粘结密封法的突出优点是能简化复杂的管壳结构,缩小尺寸,减轻重量、促进小型化,有利于提高器件的频率性能、输出功率和功率增益等,可以提高封装成品率。还能简化操作工艺,降低成本,可靠性高,其密封性可以达到5×10-8Torr.L/sec。 粘结密封法成功与否,对封装工作者而言,关键是管壳设计的合理性,粘结剂的选择及封装工艺的掌握等。本文就粘结剂的选择和性能、封装工艺及可靠性等作一归纳介绍。
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