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本文利用透射电子显微术,研究了通过激光分子束外延方法在Si基体上生长的La0.9Sr0.1MnO3功能薄膜的显微结构特征及界面处的微区成分分布规律。结果表明,在Si基体上生长的La0.9Sr0.1MnO3薄膜由单相多晶体构成。这些多晶体颗粒以柱状结构生长,柱状晶垂直于界面并一直贯穿整个LSMO薄膜。La0.9Sr0.1MnO3薄膜具有正交点阵结构,其颗粒大小为10 nm~20 nm。在LSMO/Si的界面处发现了由化学反应引起的两个纳米尺度的非晶层。