溅射Cu膜方式对ZrN扩散阻挡层热稳定性的影响

来源 :中国真空学会薄膜技术学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：baobeicucu

【摘要】

：

用射频磁控反应溅射法在Si(111)单晶基体上沉积ZrN扩散阻挡层,随后在其上分别用直流脉冲平衡磁控溅射(BMS)和非平衡磁控溅射(UBMS)沉积Cu膜.用XRD分析Cu膜的结构,AES分析薄膜

【作者】

：

宋忠孝徐可为范多旺

【机构】

：

西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室(西安)西安交通大学金属材料强度国家重点实验室(西安)兰州交通大学光电技术与智能控制教育部重点实验室(兰州)

【出处】

：

中国真空学会薄膜技术学术研讨会

【发表日期】

：

2003年9期

【关键词】

：

Cu膜 ZrN膜扩散阻挡层热稳定性铜膜溅射氮化锆阻挡层磁控溅射

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

用射频磁控反应溅射法在Si(111)单晶基体上沉积ZrN扩散阻挡层,随后在其上分别用直流脉冲平衡磁控溅射(BMS)和非平衡磁控溅射(UBMS)沉积Cu膜.用XRD分析Cu膜的结构,AES分析薄膜成分,AFM观察沉积态Cu膜的表面形貌.结果表明,UBMS沉积的Cu膜可有效抑Cu与Si基体之间的扩散,提高ZrN扩散阻挡层的热稳定性,UBMS沉积的Cu膜对扩散地抑制作用与其致密的结构有关.

其他文献

截肢病人的心理特点及心理护理

截肢可导致病人产生震惊、否定、抑郁等心理反应,应针对不同的心理状态采取相应的对策,使截肢患者有一个良好的心理状态面对生活.

期刊

截肢心理特点心理护理

综合治疗腰椎间盘突出症682例报告

我院伤科自1996年～2000年10月,采用中西医结合治疗腰椎间盘突出症682例,取得了良好的疗效,现报告如下.

期刊

腰椎间盘突出症中西医结合治疗综合疗法

邓来送教授内病外治经验

期刊

内病外治邓来送中医药疗法咳喘膏

无背索部分斜拉桥初始索力优化

在分析斜拉桥索力影响矩阵的基础上，以结构应变能最小为目标函数，建立了无背索部分斜拉桥索力优化模型，结合某旅游路立交桥进行索力优化分析，得出了一些具有一定参考价值的建议。

期刊

部分斜拉桥影响矩阵索力优化partially cable-stayed bridge cable force influence matrix cable

肩臂带加肩挑式夹板固定治疗锁骨骨折127例

期刊

锁骨骨折中医药疗法肩臂带肩挑式夹板

分层组播中MAX-MIN公平速率分配算法的运用

以分层多速率组播解决方案为研究目标,针对多速率组播与TCP单播共存网络的公平性问题,通过在分层组播中应用max min公平速率分配算法来得到各虚会话的公平速率,并采用二分法对速率集合进行不同粒度上的整合,给出了具体的分层解决策略,从而为异构网络环境中分层多速率组播在公平性前提下的有效实施提供了保障。

期刊

多速率组播分层组播max-min公平性multirate multicastlayered multicastmax-min fairness

常柴非道路产品国际农机展引关注

2016国际农机展举办期间，常柴多款非道路国Ⅲ产品吸引了众多客商的眼球，3G25、4L88、4H11、M403、4G33系列多缸机，HS400、EH、L、F系列单缸机，以及CCFD12STA发电机组、常柴罗宾汽

期刊

终端产品农机国际道路发电机组现场气氛单缸机汽油机

漳州市1996-2005年疟疾疫情流行特点与防治策略探讨

[目的]分析漳州市1996-2005年疟疾监测资料,揭示其流行病学特点,提出防治策略.[方法]对我市1996-2005年的疟疾监测资料进行流行病学分析.[结果]年发病率从1996年的0.32/10万

期刊

疟疾流行病学疾病控制

应用IP影响因子实现Intranet搜索个性化

相比较于Internet搜索,Intranet搜索拥有更多的信息来帮助提高搜索的精度。首先比较了Internet搜索和Intranet搜索的差异,提出了一种在基于相似度比较的查询结果排序算法中加入IP影响因子的改进算法。在开源搜索引擎模块Lucene的基础上实现了这种算法,并设计了一个实验,证明了这种算法改进的可行性和有效性。

期刊

INTRANET搜索引擎LUCENEIP影响因子Intranet search engine Lucene IP factor

综合治疗腰椎间盘突出症49例

我科从1998年6月～2000年7月采用综合疗法治疗腰椎间盘突出症49例,疗效满意,现报告如下.1临床资料本组49例中男性32例,女性17例,年龄15～67岁,病程4天～27年;有明显腰部外伤史者21

期刊

腰椎间盘突出症综合疗法治疗

溅射Cu膜方式对ZrN扩散阻挡层热稳定性的影响

与本文相关的学术论文