超精密齿轮齿廓偏差测量系统测量不确定度评定

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叙述了测量不确定度的原理、重要性及其在超精密测量中的应用。分析和计算了超精密齿轮渐开线齿廓偏差测量系统各不确定度来源及其对测量精度的影响。应用光学测量系统测量了此测量系统各部分运动系统精度,并最终确定此超精密齿轮渐开线齿廓偏差测量系统的测量不确定度。
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