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离子注入靶是离子束辅助沉积工艺中的重要部件，它主要山驱动、夹头和冷却三部分组成。驱动部分采用齿轴减速系统；夹头有内圈夹头、外圈夹头两种，分别用于内圈、外圈的沟道表面离子注入；主轴的冷却除采用循环水冷却外，还用水冷挡板保护主轴，以免遭注入离子的溅射。
轴承套圈离子注入靶的设计
【摘 要】
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离子注入靶是离子束辅助沉积工艺中的重要部件，它主要山驱动、夹头和冷却三部分组成。驱动部分采用齿轴减速系统；夹头有内圈夹头、外圈夹头两种，分别用于内圈、外圈的沟道表面离
【机 构】
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哈尔滨轴承股份有限公司
【出 处】
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轴承
【发表日期】
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1996年6期
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