【摘 要】
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<正> 高纯四氯化硅是生产半导体器件和集成电路元件的重要原料。四氯化硅的质量直接影响元件的性能和成品率。我们遵照毛主席“独立自主,自力更生”的教导,发扬艰苦奋斗的革
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<正> 高纯四氯化硅是生产半导体器件和集成电路元件的重要原料。四氯化硅的质量直接影响元件的性能和成品率。我们遵照毛主席“独立自主,自力更生”的教导,发扬艰苦奋斗的革命精神,因陋就简,建立了不锈钢粗馏塔和三级石英精馏塔相结合的精馏装置。经过一年的生产和试验,我们所采用的工艺流程操作方便,安全稳定,质量达到一定水平,实现了自给有余。我们采用不锈钢填料塔做第一级粗馏,两级石英填料塔作中间精馏,最后是一级石英筛板塔精馏。它们的主要操作参数分别为:全流量,一塔:10升/小时;二、三塔:2.5升/小时;
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