【摘 要】
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离轴非球面广泛应用于现代光学系统中,一般需要特定的光学辅助元件对其进行检测,为此提出一种逆向迭代非零检测法.该方法可以不借助光学辅助元件,适用于检测同一类的离轴非球
【机 构】
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中国科字院光电技木研究所质检中心,四川成都610209;中国科学院大学,北京100049
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离轴非球面广泛应用于现代光学系统中,一般需要特定的光学辅助元件对其进行检测,为此提出一种逆向迭代非零检测法.该方法可以不借助光学辅助元件,适用于检测同一类的离轴非球面.首先设计检测光路,并采用逆向迭代法去除非零误差.然后对系统误差、调整误差和随机误差等进行分析补偿以及各项误差的处理方法.最后通过仿真模拟,逆向迭代求解离轴非球面的面形方均根值为0.133λ,与仿真模拟的实际面形一致,仿真拟合的残差在10-5λ以内.逆向迭代非零检测法是针对离轴非球面一种高精度和通用型的非零检测方法.
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