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随着计算机运算速度的提高及MEMS结构变得日渐复杂，元胞自动机（CA）方法逐渐在MEMSCAD方面显出优势。针对硅的各向异性腐蚀模拟，首先建立硅衬底表面元胞的腐蚀过程二维CA模型，然后推广为三维CA模型，从而建立了硅的各向异性腐蚀的连续CA模型。已有实验结果和理论分析证明了模型的效果。
元胞自动机方法模拟硅的各向异性腐蚀研究
【摘 要】
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随着计算机运算速度的提高及MEMS结构变得日渐复杂，元胞自动机（CA）方法逐渐在MEMSCAD方面显出优势。针对硅的各向异性腐蚀模拟，首先建立硅衬底表面元胞的腐蚀过程二维CA模型，然后
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室,东南大学化学化工系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2006年1期
【基金项目】
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国家杰出青年科学基金资助项目（批准号：No.50325519）和国家863计划资助项目（批准号：2003AA404010）
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