几种微机械系统组装技术

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsadzjh
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简要讨论了微机械系统的三种组装技术,即玻璃吸附针尖、微夹钳和具有人手功能的微机械手。把第一、二种技术有机结合是满足目前微机械系统组装需求的有效捷径。 Three assembly techniques of micromechanical systems are briefly discussed, namely glass adsorption tips, micro-clamps and micromanipulators with manual functions. The first and second organic combination of technology is to meet the current micro-mechanical system assembly needs an effective shortcut.
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