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振动在加工中普遍存在,超精密撞点加工存在高速撞点加工精度差等问题,文章研究微振动对超精密撞点加工的影响,基于撞点各轴的振动误差,通过MATLAB构造出的振动仿真模型,发现适当降低X轴直线电机刚性、增强撞点加工中柔性铰链刚性可以抑制振动从而提高加工精度。根据仿真结果,进行了不同加工速度下的加工实验,验证结果表明,微振动对于撞点的超精密加工有很大影响,若加工速度超过35点/s,加工精度就会严重降低。该实验中采用微结构密集阵列加工机床,发现撞点加工速度维持在20点/s~30点/s,可以保证较高的加工精度。