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<正> 1碳素硬质膜当今,对等离子体CVD技术的研究,确立了超硬质覆膜即碳素硬质膜的实用技术. 碳素硬质膜,涂覆于各种机件上,以取得机械装置的长时间运转,延长产品寿命. 1.1覆膜的特征 1)高硬度;2)表面平滑;3)耐摩;4)较小的摩擦系数;5)耐腐蚀;6)润滑效果好. 1.2覆膜的特性结晶构造非晶体形密度??0.2 耐药品性不溶酸碱等有机溶媒颜色黑色