生产碳化硅与金属硅的Si—C—O系的热力学

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考虑到液态一氧化硅的存在,绘制了1350—2000℃Si-C-O系的热力学优势图。采用平均的质量平衡法计算了各种加入物诸如SiO_2-C和SiO_2-SiC系混配比及反应温度对高温行为所起的作用。对于有效的碳化硅生产,具有C/Si比为2.91的炉料应加热到2035—2045℃之间,此时,SiC晶体主要通过SiO(■)的气相反应生成。除非Si-C-O系的炉料加热到2037℃以上,否则不能生产出金属硅。在硅生产中,强化SiO气体在炉子上部冷区中的凝聚,回收率得到实质改善中液态SiO起着重要作用。这一工作也对双
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