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为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场,提出了一种近似分析方法.作为实例,分析了一种新型微加速度计的机-电耦合场对灵敏度的影响,所得结果与理论值比较一致,且计算精度接近于有限元分析方法,进一步计算表明:将该近似方法与有限元方法结合,不仅可以提高求解速度,还可以达到较高的精度.
叉指式微加速度计静电-机械耦合场分析
【摘 要】
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为了分析叉指式微加速度计静电-机械耦合场,提出了一种近似分析方法.作为实例,分析了一种新型微加速度计的机-电耦合场对灵敏度的影响,所得结果与理论值比较一致,且计算精度
【机 构】
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西安交通大学机械工程学院
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2004年7期
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