【摘 要】
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本文介绍了用三角波电压扫描(TV5)法测量SiO_2层中可动离子的一般方法。它具有测试方法简便,测试结果直观的优点,可作为检测氧化层质量的一种测试手段。
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本文介绍了用三角波电压扫描(TV5)法测量SiO_2层中可动离子的一般方法。它具有测试方法简便,测试结果直观的优点,可作为检测氧化层质量的一种测试手段。
This paper presents a general method for measuring the mobile ions in the SiO 2 layer by the triangular wave voltage sweep (TV5) method. It has the test method is simple, the advantages of intuitive test results can be used as a test of oxide layer quality testing methods.
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