【摘 要】
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BCC/B2高熵合金中体心立方结构（body centered cube, BCC）纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能。然而，扫描电子显微镜-能量色散谱仪（scanning electron microscopy-X-ray energy dispersive spectroscopy, SEM-EDS）难以表征BCC纳米粒子的元素分布。本文利用聚焦离子束（focused ion beam, F
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BCC/B2高熵合金中体心立方结构（body centered cube, BCC）纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能。然而，扫描电子显微镜-能量色散谱仪（scanning electron microscopy-X-ray energy dispersive spectroscopy, SEM-EDS）难以表征BCC纳米粒子的元素分布。本文利用聚焦离子束（focused ion beam, FIB）和SEM-EDS联用，制备BCC/B2高熵合金的纳米尺度薄片，并对其元素分布进行了研究。结果表明，Al17.65Co47.06Fe23.53Cr11.76高熵合金微观组织是由B2相与共格的BCC相构成，其中BCC粒子约为20～40 nm。对比SEM-EDS对块体试样和FIB制备的纳米尺度的薄片元素分布结果，FIB制备的纳米薄片提高了EDS的分辨率，BCC纳米粒子富集Cr元素，且B2基体相富集Al、Co和Fe元素。电子的加速电压和束流强度影响纳米薄片中BCC纳米粒子元素分布表征结果的准确性，其中30 kV 6.4 nA下元素分布表征结果的准确度最高。
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