【摘 要】
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全球半导体OEM和FAB代工厂家主要真空、尾气处理、化学管理设备和服务的供应商BOC EDWARDS宣布推出HELIOS6TM尾气处理设备。作为HE-LIOSTM尾气处理设备产品线中的最新产品,该
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全球半导体OEM和FAB代工厂家主要真空、尾气处理、化学管理设备和服务的供应商BOC EDWARDS宣布推出HELIOS6TM尾气处理设备。作为HE-LIOSTM尾气处理设备产品线中的最新产品,该装置可用于高流量氢工艺,如硅和锗硅外延、LPCVD钨和化合物半导体MOCVD。Helios6尾气处理设备基于BOC E
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