【摘 要】
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"集成电路工艺"是微电子学的核心专业课程,是培养优秀的集成电路人才的重要环节之一。针对课程实践教学所需的集成电路工艺线价格昂贵,实践教学效果较差,教学质量一般的特点
【基金项目】
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上海自然科学基金(B10ZR1412400);上海市科技创新行动计划地方院校能力建设项目(10110502200)资助
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"集成电路工艺"是微电子学的核心专业课程,是培养优秀的集成电路人才的重要环节之一。针对课程实践教学所需的集成电路工艺线价格昂贵,实践教学效果较差,教学质量一般的特点出发,以三种模块,多种方式对"集成电路工艺"课程的实践教学体系进行了探讨与实践,构建了多渠道多样化的实践教学平台,取得了满意的教学效果。
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