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KOH蚀液的PN结自致蚀停技术研究
KOH蚀液的PN结自致蚀停技术研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sslplq
【摘 要】
:
KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐 技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃下的PN结自致蚀停的基本特性,并发展了一种简化的三电极系统。
【作 者】
:
汤玉生
沈志广
【机 构】
:
上海交通大学
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
硅微结构
电化学腐蚀
自致蚀停
silicon microstructure
electrochemical etching
etch-stop
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KOH碱性蚀液的PN结自致蚀停电化学腐 技术是制备硅三维微结构的基本方法之一。本文详细研究了它在90℃下的PN结自致蚀停的基本特性,并发展了一种简化的三电极系统。
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