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讨论了扫描质子微探针(SPM)安装调试的方法,通过象差调整,提高了SPM系统的空间分辨率。该系统可提供空间分辨率为2-3μm、束流强度为100pA的3MeV H~+束和2MeV He~+束。
扫描质子微探针的安装调试及象差控制
【摘 要】
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讨论了扫描质子微探针(SPM)安装调试的方法,通过象差调整,提高了SPM系统的空间分辨率。该系统可提供空间分辨率为2-3μm、束流强度为100pA的3MeV H~+束和2MeV He~+束。
【机 构】
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中国科学院上海原子核研究所,中国科学院上海原子核研究所上海201800,上海201800,上海201800
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1993年9期
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